新型物鏡采用zl的ExB設(shè)計。使用單檢測器和超級ExB可以分別收集和分離單純二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。

　　1KV低加速電壓,不使用減速功能,可保證有2.0nm的分辨率。

　　兩種樣品臺可選：I型50mm x 50mm標(biāo)準(zhǔn)樣品臺或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺。

　　包括磁懸浮渦輪分子泵在內(nèi)的先進的真空系統(tǒng)。

　　光闌自清潔技術(shù),避免了光闌的污染。

　　二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV，減速模式);1.0nm (15kV)

　　電子光學(xué)：

　　電子槍: 冷場發(fā)射電子源

　　加速電壓: 0.5~30kV(0.1KV/步，可變)

　　放大倍率: x 20~ x 800,000

　　物鏡光闌: 4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)

　　檢測器: 二次電子檢測器 (高位/低位)

　　背散射電子檢測器(可選)

　　EDX(可選)

　　透射電子檢測器(可選)

　　法拉第杯(可選)

　　陰極熒光檢測器(可選)

　　樣品臺: l型:

　　X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360° 驅(qū)動:手動(可選3軸驅(qū)動)

　　ll型:

　　X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70° R: 360°驅(qū)動:PC機控制5軸驅(qū)動