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電子顯微鏡的種類

2021.4.24

  電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。

  透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu);

  掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌,也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合,構(gòu)成電子微探針,用于物質(zhì)成分分析;

  發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。

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  透射電子顯微鏡(transmission electron microscope,TEM)的組件包括:

  1. 電子槍:發(fā)射電子,由陰極、柵極、陽極組成。

  2. 聚光透鏡:即電子透鏡,將電子束聚集,可用于控制照明強度和孔徑角。

  3. 樣品室:放置待觀察的樣品,并裝有旋轉(zhuǎn)臺,用以改變試樣的角度,還有裝配加熱、冷卻等設(shè)備。

  4. 物鏡:為放大率很高的短距透鏡,作用是放大電子像。物鏡是決定透射電子顯微鏡分辨能力和成像質(zhì)量的關(guān)鍵。

  5. 中間鏡:為可變倍的弱透鏡,作用是對電子像進(jìn)行二次放大。通過調(diào)節(jié)中間鏡的電流,可選擇物體的像或電子衍射圖來進(jìn)行放大。

  6. 透射鏡:為高倍的強透鏡,用將二次放大后的中間像進(jìn)一步放大后在熒光屏上成像。

  7. 二級真空泵:對樣品室抽真空。

  8.照相裝置:用以記錄影像。由于電子易散射或被物體吸收,故穿透力低,樣品的密度、厚度等都會影響到最后的成像質(zhì)量,必須制備更薄的超薄切片,通常為 50~100 nm。

  所以用透射電子顯微鏡觀察時的樣品需要處理得很薄。通常用薄切片法或冷凍蝕刻法制備:

  (1)薄切片法

  通常以鋨酸和戊二醛固定樣品,以環(huán)氧樹脂包埋,以熱膨脹或螺旋推進(jìn)的方式推進(jìn)樣品切片,切片厚度 20~50 nm,采用重金屬鹽染色,以增大反差。

 ?。?)冷凍蝕刻法 亦稱冰凍斷裂法

  將標(biāo)本置于-100°C 的干冰或-196°C 的液氮中冰凍后,以冷刀急速斷開標(biāo)本。斷裂的標(biāo)本升溫后,冰在真空條件下迅即升華,暴露出斷面結(jié)構(gòu),稱為蝕刻。蝕刻完成后,向斷面以45o 角噴涂一層蒸氣鉑,再以90o 角噴涂一層碳,加強反差和強度。然后用次氯酸鈉溶液消化樣品,剝下碳和鉑的膜,稱為復(fù)膜,能顯示標(biāo)本蝕刻面的形態(tài)。在電鏡下觀察得到的影像即代表標(biāo)本中細(xì)胞斷裂面處的結(jié)構(gòu)。

  (二)掃描式電子顯微鏡

  掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)于20 世紀(jì)60 年代問世,目前分辨力可達(dá)6~10 nm。

  其工作原理是由電子槍發(fā)射的精細(xì)聚焦電子束經(jīng)兩級聚光鏡、偏轉(zhuǎn)線圈和物鏡射到樣品上,掃描樣品表面并激發(fā)出次級電子,次級電子的產(chǎn)生量與電子束入射角有關(guān),即與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)。次級電子經(jīng)探測體收集后,由閃爍器轉(zhuǎn)換為光信號,再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸?,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。

  掃描電鏡的標(biāo)本在檢驗前,需進(jìn)行固定、脫水處理,再噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。

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