ISO14644《潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境》標(biāo)準(zhǔn)組成
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文件名 | 題目 | 狀態(tài) | 簡介 |
ISO14644-1 | 通過顆粒物濃度對空氣潔凈度進(jìn)行分類 | 2015 | 涵蓋潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的空氣潔凈度分類 |
ISO14644-2 | 監(jiān)測通過顆粒濃度提供與空氣潔凈度相關(guān)的潔凈室性能的證據(jù) | 2015 | 指定監(jiān)控和定期測試潔凈室或潔凈區(qū)的要求，以證明其繼續(xù)符合ISO14644-1 |
ISO14644-3 | 測試方法 | 2005 | 指定用于表征潔凈室和潔凈區(qū)性能的空氣顆粒潔凈度指定分類的測試方法 |
ISO14644-4 | 設(shè)計(jì)、建造和啟動(dòng) | 2001 | 指定潔凈室安裝的設(shè)計(jì)和構(gòu)造要求 |
ISO14644-5 | 運(yùn)營 | 2004 | 指定潔凈室運(yùn)行的基本要求 |
ISO14644-7 | 分離裝置（清潔空氣罩、手套箱、隔離器和微環(huán)境） | 2004 | 指定分離設(shè)備的設(shè)計(jì)、構(gòu)造、安裝、測試和批準(zhǔn)的最低要求 |
ISO14644-8 | 按化學(xué)物濃度（ACC）分類的空氣潔凈度 | 2013 | 涵蓋潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中氣態(tài)分子污染物（AMC）的分類 |
ISO14644-9 | 通過顆粒物濃度對表面清潔度進(jìn)行分類 | 2012 | 通過潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的顆粒物濃度確定固體表面潔凈度等級(jí)的分類 |
ISO14644-10 | 按化學(xué)物濃度對表面清潔度進(jìn)行分類 | 2013 | 根據(jù)化學(xué)化合物或元素的存在情況定義潔凈室表面潔凈度的分類系統(tǒng) |
ISO14644-12 | 通過納米級(jí)顆粒濃度監(jiān)測空氣潔凈度的指南 | 2018 | 根據(jù)懸浮納米級(jí)顆粒物濃度的空氣潔凈度的監(jiān)測 |
ISO14644-13 | 對表面進(jìn)行清潔以便達(dá)到規(guī)定的顆粒物和化學(xué)物潔凈度 | 2017 | 用清潔劑處理潔凈室表面、潔凈室設(shè)備表面和潔凈室中材料表面的特定清潔程度 |
ISO14644-14 | 根據(jù)懸浮顆粒物濃度評估設(shè)備使用的適用性 | 2016 | 指定設(shè)備在潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中適用性的評估方法 |
ISO14644-15 | 通過懸浮化學(xué)物濃度評估設(shè)備和材料的適用性 | 2017 | 將用于潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的設(shè)備和材料引起的化學(xué)物潔凈度提出要求和指南 |
ISO14644-16 | 提高潔凈室和凈化設(shè)備能效的實(shí)施指南 | 2017（在編） | 為新建和現(xiàn)有的潔凈室、潔凈區(qū)和分離設(shè)備提供優(yōu)化能源使用和保持能源效率的指導(dǎo)和建議 |
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標(biāo)準(zhǔn)
