ISO 15632:2012
微光束分析.帶半導(dǎo)體探測(cè)器能量發(fā)散X射線分光儀的儀器規(guī)范

Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis

被代替

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

ISO 15632:2012

發(fā)布

2012年

總頁數(shù)

18頁

中文版

GB/T 20726-2015 (等同采用的中文版本)

發(fā)布單位

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織

替代標(biāo)準(zhǔn)

ISO 15632:2021

當(dāng)前最新

ISO 15632:2021

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

ISO 23833

適用范圍

該國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)定義了表征能量色散X射線光譜儀的最重要的量，該能量色散X射線光譜儀由半導(dǎo)體探測(cè)器、前置放大器和信號(hào)處理單元作為基本部件組成。 本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)僅適用于帶有以固態(tài)電離原理工作的半導(dǎo)體探測(cè)器的光譜儀。 本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了連接掃描電子顯微鏡（SEM）或電子探針微量分析儀（EPMA）的光譜儀的最低要求以及如何檢查相關(guān)儀器性能參數(shù)。 ISO 22309[2] 和 ASTM E1508[3] 中概述了實(shí)際分析所用的程序，不屬于本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的范圍。

ISO 15632:2012 中可能用到的儀器設(shè)備

專題

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