FEI 成為了透射電子顯微鏡 (TEM)、 掃描電子顯微鏡 (SEM)、整合了 SEM 與聚焦離子束 (FIB) 的 DualBeam? 儀器和 用于精密高速切割與加工的專用聚焦離子束儀器的性能標(biāo)準(zhǔn)。 FEI 成像系統(tǒng)在三維 表征、分析和修改/原型設(shè)計領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了亞埃(埃:十分之一納米)級分辨率。
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