術(shù)語 | 描述 |
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潔凈室 Cleanroom | 空氣懸浮粒子濃度受控的房間。其建造和使用方式使房間內(nèi)進入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子最少。房間內(nèi)溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。 |
潔凈區(qū) Clean Zone | 空氣懸浮粒子濃度受控的專用空間。其建造和使用方式使區(qū)內(nèi)進入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子最少。區(qū)內(nèi)溫度、濕度、壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。 |
發(fā)塵 Particle Emission | 物體因摩擦、振動而向空氣中散發(fā)微粒。 |
發(fā)塵率 Particle Emission Rate | 被測物體在一定時間內(nèi)經(jīng)摩擦、振動所產(chǎn)生的微粒的數(shù)量。 |
大微粒 Large Particles | 等效粒徑不小于 $5~\mu\mathrm{m}$ 的微粒。 |
體視顯微鏡 最大標稱放大倍率不小于 100 倍 | 用于易脫落大微粒檢測。 |
抽氣泵 可對樣本施加不小于 $100\mathrm{~Pa~}$ 的負壓 | 用于易脫落大微粒檢測。 |
鋼卷尺或直尺 分度值為 $1\mathrm{mm}$ | 用于規(guī)格測定。 |
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