GB/T 29732-2021
表面化學(xué)分析 中等分辨俄歇電子能譜儀 元素分析用能量標(biāo)校準(zhǔn)
Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
GBT29732-2021, GB29732-2021
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- GB/T 29732-2021
- 別名
- GBT29732-2021, GB29732-2021
- 發(fā)布
- 2021年
- 總頁數(shù)
- 16頁
- 采用標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 17973:2016 IDT
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 29732-2021
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 18115
- 被代替標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 29732-2013
- 適用范圍
- 本文件規(guī)定了俄歇電子能譜儀動(dòng)能能量標(biāo)不確定度為3eV時(shí)的校準(zhǔn)方法,用于識(shí)別表面常規(guī)元素。另外,本文件還規(guī)定了一種用于確定校準(zhǔn)周期的方法。 本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%,微分模式調(diào)制幅度的峰值為2eV,配有惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法,具有4keV或更高束能電子槍的譜儀。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 零點(diǎn)偏移誤差 Zero Shift Error | 由于儀器初始位置或校準(zhǔn)基準(zhǔn)不準(zhǔn)確導(dǎo)致的能量偏差。 |
| 測得的能量標(biāo)誤差 Measured Energy Scale Error | 在測量過程中由于各種因素（如設(shè)備噪聲、信號(hào)干擾等）導(dǎo)致的能量刻度誤差。 |
GB/T 29732-2021 中提到的儀器設(shè)備
| 惰性氣體離子槍 5keV, 30μA氬離子束 | 用于樣品表面清潔的設(shè)備，通過高能氬離子轟擊樣品表面去除污染物。 |
| 電子槍 4keV或更高束能 | 產(chǎn)生高能電子束的裝置，用于激發(fā)樣品表面的俄歇電子。 |