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T/CNIA 0016-2019
多晶硅用回收氫氣中氯化氫、氮?dú)?、氧氣、總碳含量的測(cè)定氣相色譜法

Determination of Hydrogen Chloride, Nitrogen, Oxygen and Total Carbon Content in Recycled Hydrogen for Polysilicon by Gas Chromatography

標(biāo)準(zhǔn)號(hào): T/CNIA 0016-2019
發(fā)布: 2019年
發(fā)布單位: 中國(guó)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)
當(dāng)前最新: T/CNIA 0016-2019

適用范圍: 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅用回收氫氣中氯化氫、氮?dú)?、氧氣、總碳含量的氣相色譜測(cè)定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于多晶硅用回收氫氣的氯化氫、氮?dú)?、氧氣、總碳含量的測(cè)定，測(cè)定范圍為（0-10000）×10-6。

T/CNIA 0016-2019 中可能用到的儀器設(shè)備

氣相色譜儀GC

專題

氣相色譜測(cè)量氫氣氣相色譜+氫氮氧氣相色譜法測(cè)定氮含量氣相色譜法氮含量氣相中氧含量的測(cè)定真空度氧氮?dú)浜? 四氯化硅氣相色譜標(biāo)準(zhǔn)氣過(guò)氧化氫中總氮空氣中氫氣測(cè)定氧氮?dú)錅y(cè)試氫含量氣相色譜儀氫氣流量為零氫氣中氮?dú)?

T/CNIA 0016-2019相似標(biāo)準(zhǔn)

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