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BS EN ISO 14644-1 潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：按顆粒濃度對(duì)空氣潔凈度進(jìn)行分類

BS EN ISO 14644-1. Cleanrooms and associated controlled environments. Part 1. Classification of air cleanliness by particle concentration

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

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發(fā)布

2010年

發(fā)布單位

SCC

當(dāng)前最新

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適用范圍

交叉引用：ISO 21501-4:2007 IEST-G-CC1002 IEST-G-CC1003 IEST-G-CC1004 JIS B 9920:2002

專題

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