TECH COMP AID DES SI SIGE GAAS INTEG CIRC-2007
Si@ SiGe 和 GaAs 集成電路的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)

Technology Computer Aided Design for Si@ SiGe and GaAs Integrated Circuits

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

TECH COMP AID DES SI SIGE GAAS INTEG CIRC-2007

發(fā)布

2007年

發(fā)布單位

IET - Institution of Engineering and Technology

 

 

適用范圍

2005 年國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖 (ITRS) 預(yù)測(cè)，技術(shù)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì) (TCAD) 的使用將通過(guò)減少實(shí)驗(yàn)批次數(shù)量和縮短開發(fā)時(shí)間，使技術(shù)開發(fā)成本降低 40%。半導(dǎo)體行業(yè)。在競(jìng)爭(zhēng)激烈的制造環(huán)境中，人們需要充分利用 TCAD 的預(yù)測(cè)能力來(lái)降低產(chǎn)品開發(fā)的成本和時(shí)間。目前，工藝和器件仿真已成為研發(fā)階段開發(fā)和優(yōu)化器件和微電子工藝技術(shù)不可或缺的工具。借助用于電路分析的設(shè)備緊湊模型參數(shù)提取，TCAD 可以擴(kuò)展到制造領(lǐng)域，以實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的過(guò)程控制和參數(shù)化良率分析。每一章都確保涵蓋最先進(jìn)設(shè)備的最新 TCAD 研究成果以及重要參考文獻(xiàn)的全面列表?？傊緯钛a(bǔ)了快速發(fā)展領(lǐng)域的文獻(xiàn)空白，因?yàn)樗诤狭?Si@ SiGe 和 GaAs 材料@技術(shù)@器件及其應(yīng)用中 TCAD 活動(dòng)的廣泛描述。每章提供的廣泛參考列表將幫助讀者識(shí)別 TCAD 發(fā)展的關(guān)鍵階段，從早期研究到其在當(dāng)前制造中的集成。作者：CK Maiti@GA Armstrong

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