VDI 2083 Blatt 1-1-2021
清潔室技術(shù) 空氣潔凈度等級(jí)（納米尺度顆粒）
Cleanroom technology Particulate air cleanliness classes for nano-scaled particles (ACnP)
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- VDI 2083 Blatt 1-1-2021
- 發(fā)布
- 2021年
- 總頁(yè)數(shù)
- 12頁(yè)
- 發(fā)布單位
- 德國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)
- 當(dāng)前最新
- VDI 2083 Blatt 1-1-2021
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- VDI 1000
- 本體
- 納米顆粒
- 適用范圍
- 該標(biāo)準(zhǔn)描述了空氣清潔度的測(cè)量和分類(lèi)，涉及尺寸從5納米到小于100納米(5 nm D < 100 nm)的納米顆粒，不論其來(lái)源。
VDI 2083 Blatt 1-1-2021 中提到的儀器設(shè)備
| 光學(xué)顆粒計(jì)數(shù)器 OPC | 基于光散射原理，用于測(cè)量大于100納米的顆粒 |
| 凝結(jié)顆粒計(jì)數(shù)器 CPC | 用于測(cè)量低濃度納米顆粒的儀器 |
| 電遷移率光譜儀 EMS | 用于測(cè)量高濃度納米顆粒的儀器 |