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GB/T 25915.12-2021
潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

GBT25915.12-2021, GB25915.12-2021


標(biāo)準(zhǔn)號
GB/T 25915.12-2021
別名
GBT25915.12-2021, GB25915.12-2021
發(fā)布
2021年
總頁數(shù)
16頁
采用標(biāo)準(zhǔn)
ISO 14644-12:2018 IDT
發(fā)布單位
國家質(zhì)檢總局
當(dāng)前最新
GB/T 25915.12-2021
 
 
適用范圍
本文件給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1μm(100nm)的“納米尺度”粒子濃度的技術(shù)要求。 本文件給出的監(jiān)測技術(shù)要求主要用于“動態(tài)”。 注1:本文件提及的“納米尺度粒子”是指所有在1維上(納米片)、。
術(shù)語描述
潔凈室
cleanroom		空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設(shè)計、建造到運行均使進入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控。注：規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級別
潔凈區(qū)
cleanzone		空氣懸浮粒子計數(shù)濃度受控并分級的限定空間，其建造和運行使進入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。注：空氣懸浮粒子濃度的級別已確定
納米尺度
nanoscale		尺寸范圍約在1nm~100nm，注：在此尺寸范圍內(nèi)粒子的特性一般不是從較大尺寸的推導(dǎo)而得，但也并非絕對

GB/T 25915.12-2021 中提到的儀器設(shè)備

凝結(jié)粒子計數(shù)器 測量氣溶膠(粒子數(shù)量濃度的儀器。注1:探測的粒徑一般介于幾納米到幾百納米之間。注2:CPC可與差分電遷移率分析儀(DEMC)一起使用的探測器

其他標(biāo)準(zhǔn)

專題

GB/T 25915.12-2021相似標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 25915.12-2021系列標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 25915.1-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級 GB/T 25915.10-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第10部分：按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級 GB/T 25915.12-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求 GB/T 25915.13-2022 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第13部分：達到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔 GB/T 25915.14-2022 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第14部分：按粒子濃度評估設(shè)備適用性 GB/T 25915.15-2022 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第15部分： 按氣態(tài)化學(xué)物濃度評定設(shè)備及材料的適用性 GB/T 25915.16-2024 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第16部分：提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效 GB/T 25915.17-2024 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第17部分：粒子沉積速率應(yīng)用 GB/T 25915.2-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測 GB/T 25915.3-2024 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：檢測方法 GB/T 25915.4-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第4部分：設(shè)計、建造、啟動 GB/T 25915.5-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第5部分：運行 GB/T 25915.6-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第6部分：詞匯 GB/T 25915.7-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第7部分：隔離裝置（潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境） GB/T 25915.8-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第8部分：按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度(ACC)等級 GB/T 25915.9-2018 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級


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