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BS ISO 14644-12 潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境 第十二部分 納米級(jí)顆粒濃度監(jiān)測(cè)空氣潔凈度規(guī)范

BS ISO 14644-12. Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

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發(fā)布

2016年

發(fā)布單位

英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)

當(dāng)前最新

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介紹

該標(biāo)準(zhǔn)主要針對(duì)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的納米級(jí)顆粒濃度監(jiān)測(cè)方法進(jìn)行了規(guī)定，明確了空氣潔凈度的評(píng)估與控制要求。內(nèi)容涵蓋了監(jiān)測(cè)過(guò)程中所需的技術(shù)手段、操作流程以及數(shù)據(jù)處理的相關(guān)規(guī)范，為相關(guān)領(lǐng)域的實(shí)踐提供了統(tǒng)一的技術(shù)依據(jù)。標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)顆粒濃度的分級(jí)與檢測(cè)方法進(jìn)行了詳細(xì)描述，確保了不同環(huán)境下顆粒污染水平的可比性與可控性。同時(shí)，該標(biāo)準(zhǔn)還對(duì)監(jiān)測(cè)設(shè)備的性能指標(biāo)及校準(zhǔn)方法提出了具體要求，有助于提升監(jiān)測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性。

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專題

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