ISO 15471:2016
表面化學(xué)分析.俄歇電子光譜法.選定的儀器性能參數(shù)的描述
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy - Description of selected instrumental performance parameters
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- ISO 15471:2016
- 發(fā)布
- 2016年
- 總頁(yè)數(shù)
- 12頁(yè)
- 發(fā)布單位
- 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織
- 當(dāng)前最新
- ISO 15471:2016
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 17973:2002 ISO 17974:2002 ISO 18115-1:2013 ISO 21270:2004 ISO 24236:2005 ISO 29081:2010 ISO/TR 19319:2013
- 適用范圍
- 本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了描述 Auger電子光譜儀性能的特定方面的要求
| 術(shù)語(yǔ) | 描述 |
|---|---|
| Auger電子光譜術(shù) Auger electron spectroscopy | 一種表面分析技術(shù)，利用Auger電子的發(fā)射來(lái)研究材料的表面組成和結(jié)構(gòu) |
| 滿寬半最大值 full width at half maximum | 在光譜學(xué)中，峰的寬度定義為從峰頂?shù)椒宓滓话敫叨鹊膶挾?/td> |
ISO 15471:2016 中提到的儀器設(shè)備
| Auger電子光譜儀 | 用于表面分析的儀器，能夠檢測(cè)Auger電子信號(hào) |
| 掃描電子顯微鏡 | 一種高分辨率顯微鏡，用于觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu) |